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点击次数:715 发布时间:2017-10-18

真空计种类那么多,如何选择才zui好?

  • 皮拉尼真空计

1皮拉尼真空计原理

·加热电阻丝,使之升温至需要的工作温度

·由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量,电阻丝的温度会发生变化

·热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系

2衍生出两种类型的皮拉尼规

1)稳定温度,测量施加的电压变化等效测量真空度(INFICON PSG500

2)稳定电压,测量温度变化等效测量真空度(热偶规)

3气体的热传导,与下列提条件有关

1)气体类型

2)压力大小

4皮拉尼真空计测量范围与精度

测量范围(空气,氧气,一氧化碳,氮气):5 x 10-4 1000 mbar

精度(氮气)

1x 10-3… 100毫巴  ±15%

5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴  ±50%

100 ... 1000毫巴  ±50%

5皮拉尼真空计的优特点

灯丝部分在不影响精度与速度的情况下,加以zui大的保护,

大大延长了灯丝的使用寿命。

 

6皮拉尼真空计具体型号

·PSG050/051

·PSG100-S  PSG101-S

·PSG500/500-S PSG502

·皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400 PCG410 PCG550

1)有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起

2)两种原理的规管全过程都工作

3100 mbar—1000 mbar 使用薄膜规信号

41 mbar– 100mbar 两规信号同时采用

55x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信号

6)输出的真空度信号(电压)连续,无跳跃

7皮拉尼真空计应用行业

·各种高真空泵的前级压力测量,如光伏、镀膜、等离子行业

·各种中低真空测量,如照明,冶金

·真空连锁控制,高真空计的点火开关控制,如PEG100

·PSG050可完全替代TR211PSG051可完全替代TR216

·PCG400 PCG410(现在已升级为PCG550PCG400/PCG410已经停产)与PSG500 基本相同,但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点,而且不受气体类型的影响,在真空炉,单晶炉,多晶炉,蓝宝石炉上广泛应用 

·PSG100 PSG101,与PSG500/PSG050基本相同,但以为具有通讯协议功能,在大系统中应用广泛

二、电容薄膜规

CDG025D/CDG045/100/160/200

 

1电容薄膜规工作原理

·压力使膜片变形,变形量与压力大小成比例关系

 

·通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度

2电容薄膜规特点

·以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成

·在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量

·快速的预热和恢复时间,提高生产率

·的长期稳定性,再现性和重复性

·由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性

·对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定

·快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态

·一键按钮: 调零功能和设点调整

·抗腐蚀超纯陶瓷传感器

·能经受数百万次压强循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹象

·暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀

·对蒸气介质不敏感

·先进的传感器屏蔽 ()延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命

3INFICON陶瓷技术

·陶瓷技术的优越性

1)无记忆效应  2)陶瓷无疲劳问题  3)zui好的温度补偿   4)的零点稳定性

·低使用成本

1)非凡的使用寿命    2)无需隔离阀

4Sky CDG025D测量范围 

5加热型薄膜规

6加热型优点

·零飘极小0.1%FS/年(干净真空环境)

·更高的精度

·环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响

·比工艺更快的预热启动时间

·快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mV

·任意安装角度

·抗污染,可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响

7电容薄膜规的应用

要求高的应用条件下,而快速的压强测量

·用于刻蚀,CVDPVDALD半导体设备制造,如太阳能光伏行业的PECVD用的很多,刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多,抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627DINFICONCDG025D比较多,如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS626B13TDE627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH41179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3,国内用的好多PECVD设备上用的是INFICONCDG025D

·资料贮存和显示器制造设备

·工业真空设备

·常用高精度真空测量

 

三、热电离规

1热电离规原理

Richardson 效应: 高温灯丝发射电子,高能量电子撞击气体分子,气体分子的一个或多个电子被撞击出去,形成带正电的离子。

1)带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出

2)离子流的大小与气体压力成比例关系

2两种类型热电离规

3热电离型复合规

·HPG400

·BPG400/-SP/-SD/SR

·BPG402

·BCG450 B-A规,皮拉尼规,薄膜规三种型号复合在一起

4优点及应用

·BPG

测量范围宽,一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000 mbar

精度高,极好的重复性5%

灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力,皮拉尼自锁保护,使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。

方便的校准调节

注意事项:

对气体有选择性

抗污染能力弱

普遍应用于从低到超高真空的测量

在工业,半导体,研究行业应用广泛

BPG402

双灯丝,大大延长使用寿命

电离规的工作可以自定义控制

探头备件自带校准参数,保证精度与重复性

 HPG400

电离规与皮拉尼的复合

皮拉尼自锁保护电离规

电离规的工作启动点可以一定范围内自定义

简易的校准功能

相对便宜的价格

 BCG450

可调的电离规工作起点

的重复性

的大气端测量

四、冷电离规(潘宁规)

1冷电离规原理

通过气体放电方式产生电子,通过磁场使电子获得能量将气体分子电离。

2潘宁规特点与应用

·测量范围:5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar

·全金属密封

·无灯丝

·易清洗

·应用于普通的高真空测量

3冷规复合规MPG400特点与应用

·冷规与皮拉尼规的复合

·测量范围广: 5x10-9-1000 mbar

·易于保养清洗

·无高真空灯丝,

·应用于普通高真空测量

4冷规及复合规性能比较

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